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钛酸铜钙具有优良电学性能的新型材料 |
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钛酸铜钙CaCu3Ti4O12(简称CCTO)属于类钙钛矿结构的化合物,是近些年来发现的具有优良电学性能的新型材料,其表现出巨大的介电常数(ε≈104~105)和低的介电损耗(tanδ≈0.03),特别是在室温附近很宽的温度范围内(100~400K),介电常数几乎保持不变,表明其具有很好的热稳定性。另一方面,其电流电压测试表现出明显的非线性,其非线性系数达到912,性能远高于目前市场上压敏电阻。 随着微电子技术的逐步发展,器件正朝着小型化、集成化、低电压和低能耗的方向发展,而CCTO陶瓷薄膜的这些良好的综合性能,使其有望在诸多高新技术领域中获得广泛的应用。 目前薄膜制备技术可分为两大类,即物理气相沉积法和化学气相沉积法。现阶段对于CCTO薄膜的制备,主要有脉冲激光沉积法、化学气相沉积、分子数外延溶和胶凝胶法等。传统方法中以钛酸丁酯作为钛源来制备前驱体溶液,但是钛酸丁酯容易与空气中的水分发生水解,且还需滴加其他液体来抑制水解,制备方法复杂,成本高。 |