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钛酸锶如何应用更便利
 

      钛酸锶是电子工业重要原料,用以自动调节加热元件和制造具有消磁作用的元器件。在陶瓷领域中用做制造陶瓷电容器、压电陶瓷材料、陶瓷敏感元件、微波陶瓷元件。还可用做颜料、搪瓷、耐热材料、绝缘材料。钛酸锶单晶可用做光学材料及人造宝石。

      钛酸锶晶体具有高折射指数和高介电常数,它的单晶体被用作光学材料及人造宝石。以钛酸锶为基材的低温超导体也已制成。其应用举例如下:

      1. 制备一种工艺简单,稳定性好的钛酸锶晶体管。

      采用替位掺杂法,使用激光分子束外延,脉冲激光沉积,磁控溅射,电子束蒸发或分子束外延等制膜方法,在单晶基片(如SrTiO3, YSZ,LaAlO3,Nb:SrTiO3等)上制备出n型钛酸锶SrAxTi1-xO3或 Sr1-xLaxTiO3薄膜材料,其中A是Nb或Sb;制备出p型钛酸锶SrBxTi1-xO3 薄膜材料,其中B是In或Mn。所有x的取值范围为0.005-0.5。

      把一层p型钛酸锶和一层n型钛酸锶外延在一起,这两层导电类型不同的钛酸锶薄膜在界面处就形成一个p-n结,这个p-n结就构成了钛酸锶晶体二极管;把一层p型钛酸锶和一层n型钛酸锶和另一层p型钛 酸锶外延在一起,这三层钛酸锶薄膜就形成一个p-n-p结,这个p- n-p结就构成了p-n-p钛酸锶三极管;把一层n型钛酸锶,一层p型钛酸锶和另一层n型钛酸锶外延在一起,这三层钛酸锶薄膜就形成了 一个n-p-n结,这个n-p-n结就构成了n-p-n钛酸锶三极管。

      所述的钛酸锶晶体管,采用全外延工艺,因此每层的层厚和载流子浓度都较锗硅晶体管更易控制,且结面更锐,而钛酸锶熔点高,稳定性好,故钛酸锶晶体管将成为一种广泛应用的电子器件,亦可发展成为钛酸锶集成电路。

      2. 制备一种非晶钛酸锶薄膜器件的制备方法,包括:在基底表面旋涂底电极溶液后退火,形成底电极;在所述底电极表面旋涂钛酸锶溶液后进行烘烤,形成酸锶薄膜;将所述钛酸锶薄膜进行退火处理,形成非晶薄膜;在所述非晶薄膜表面进行电子束蒸发溅射形成顶电极,得到非晶钛酸锶薄膜器件。

      该非晶钛酸锶薄膜器件的创新点在器件的主体氧化物薄膜层为非晶薄膜,并且制备方法工艺简单,制备过程中对温度的要求较低,能够进行批量生产,而且制备得到的钛酸锶薄膜器件的稳定性好、耐疲劳能够循环使用,开关比大,400℃退火时开关比达到103,应用领域广泛。

 

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