钛酸锶薄膜的制备与应用研究进展介绍了钛酸锶(STO)薄膜的五种制备方法(等离子体增强化学气相淀积、射频磁控溅射、金属有机化 学气相沉积、脉冲激光沉积、溶胶–凝胶)及 STO薄膜在电容-电压敏双功能材料、CMOS器件、氧敏材料、PZT 铁电薄膜电极材料等方面的应用的研究进展。提出了需进一步开展的研究课题如:晶粒晶界控制、界面控制、 漏电导机制、疲劳机制、非线性效应及大面积高质量薄膜的制备技术等。

      SrTiO3 是一种立方钙钛矿结构的绝缘体、铁具有良好的介电性、热稳定性、低损耗和介电可调性, 可用来制备高密度、大容量的 FRAM和 DRAM设备, 薄膜材料的衬底和缓冲, 层电容器等许多重要应用。例如电容-压敏复合功能的 SrTiO 因而研究人员对STO薄 制备、组成、结构、性能及应用等方面进行了大量研究, 并取得了一些令人振奋的进展。